改造原因:CP Unit下方有大量PCW管路,因時(shí)間較長(zhǎng),部分管路接口在高壓作用下,存在松動(dòng)破裂造成漏液的風(fēng)險(xiǎn);一旦發(fā)生漏液,設(shè)備下方無(wú)任何承漏裝置,液體可直接從華星孔流至Subfab;Subfab放有大量電控柜及高壓線纜,一旦遇水,后果嚴(yán)重?,F(xiàn)評(píng)估在CP Unit下方加裝承漏盒裝置,避免液體外流。
改造方案:在設(shè)備下方Frame之間加裝承漏盒,無(wú)管路的部分承漏盒為整體式;有管路的部分承漏盒為拼接式,拼接處將管路密封包裹。
拼接式承漏盒效果圖:因存在管路干涉,管路下方承漏盒采用拼接式處理,拼接處將管路密封包裹,并用耐酸堿防水膠貼合;機(jī)臺(tái)骨架與承漏盒用耐酸堿防水膠連接貼合;每個(gè)承漏盒都配備一個(gè)排水口并與其它整體式承漏盒排水口并聯(lián)后接入廠務(wù)排水管。
整體式承漏盒效果圖:機(jī)臺(tái)骨架與導(dǎo)流板用耐酸堿的防水膠貼合;導(dǎo)流板與承漏盒用螺絲加防水膠連接貼合;每個(gè)承漏盒都配備一個(gè)排水口并與其它承漏盒排水口并聯(lián)后接入廠務(wù)排水管。
承漏盒底部效果圖:每個(gè)承漏盒底部都可以進(jìn)行高度調(diào)整
報(bào)警裝置:每個(gè)承漏盒里加裝一支液體檢知sensor,型號(hào)為:SUNX EX-F61(客戶(hù)指定);與設(shè)備其它Unit的漏液檢知sensor并聯(lián)。發(fā)生漏液,sensor做動(dòng),機(jī)臺(tái)報(bào)“LEAK ALAM”,動(dòng)力裝置隨即Stop。